GB/Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序
GB/Z 42624-2023
标准推荐性现行标准名称:真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序
标准编号:GB/Z 42624-2023
资源类别:国家标准
实施日期:2023 年 5 月 23 日
附件大小:0.85 MB
GB/Z 42624-2023标准简介:
本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。
本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生,在23℃时小于1×10-5Pa·m3·s-1(1×10-2Pa·L·s-1),放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300u。