标准名称：碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

标准编号：SJ/T 11503-2015

资源类别：电子行业标准

实施日期：2015 年 10 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：4.05 MB

SJ/T 11503-2015标准简介：

本标准规定了用表面轮廓仪和原子力显微镜测定碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的方法。